猎头公司11月9日人才推荐 某半导体公司 光刻工艺工程师30万
自我评价:
熟练操作多种光刻相关设备,包括光刻机、涂胶显影机、扫描电子显微镜(SEM)、光刻层间对准精度(OVL)量测设备等。
对光刻工艺有着深入且全面的理解。能够依据产品经理提出的要求,精确设计涂胶、曝光、显影的工艺配方(Recipe)。在光刻过程中出现异常情况时,凭借丰富的经验和专业知识可以迅速、有效地解决问题,保障生产流程的顺利进行。
工作经历:
某半导体科技股份有限公司(2020.06——至今),光刻工艺工程师。
光刻工作方面:
负责某曝光机的光刻操作,全面涵盖涂胶recipe、曝光recipe、显影recipe的建立、优化、维护以及工艺稳定性监控。主要制作线宽0.18μm及以上的线栅和各种客户定制设计结构图形;针对亚微米多层套刻光刻产品,严格监控套刻精度,目前已实现套刻精度小于50nm。
承担电子束机台的日常光刻任务,所处理的测试图形丰富多样,包括衍射光学元件(DOE)、超表面、浮雕光栅等图形,以及客户的各类设计图形。通过精细调试涂胶、显影、曝光能量等参数,成功满足客户设计要求,目前最小关键尺寸(CD)可达50nm,整片晶圆关键尺寸均匀性(CDU)小于10%。
设备维护方面:
负责部门黄光设备的日常维护工作,主要涉及涂胶机、曝光机、膜厚仪、临界尺寸扫描电子显微镜(CDSEM)、扫描电子显微镜(SEM)等设备。具体工作包括日常点检、配件更换、及时消除设备报警信息,确保光刻设备始终保持正常运行状态,保障生产不受设备故障影响。
量测与工艺调整方面:
进行CDSEM量测自动Recipe的创建,以此实时监控光刻关键尺寸(CD)的稳定性。同时,积极开展问题排查工作,依据数据反馈及时进行工艺调整,有效保证光刻良率。负责对母板的光刻后检查(ADI)和蚀刻后检查(AEI)数据收集,并对测试的光效零级和均匀性进行深入分析,进一步排查问题并调整工艺,全方位保障光刻良率。
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